1、順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

2、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)應(yīng)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、閥座檢漏法應(yīng)采用閥門游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

4、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

5、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1×10-10mbar·L/s。

6、特種氣體系統(tǒng)氦檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列規(guī)定:

6.1內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1×10-9mbar·L/s;

6.2閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;

6.3外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;

7、氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過(guò)氣密性試驗(yàn)合格后，然后按規(guī)定再進(jìn)行氦檢漏。

8、所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。

9、系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充人高純氮?dú)饣驓鍤猓?yīng)進(jìn)行吹掃。